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詳細介紹

單多晶硅（微粉）廢水處理技術

單/多晶硅（微粉）生產廢水主要來自單/多晶硅的鑄造、硅片切割及硅材料的清洗等工段所產生的廢液。該廢水懸浮物和氟化物濃度高、可生化性效果差（COD≤3000mg/L、氟化物≤1000mg/L、SS≤8000mg/L），采用常規工藝處理難度大。應用本系統處理后的出水水質可達到現行國家《污水綜合排放標準》GB8978-1996中規定的一級排放要求（COD≤60mg/L、BOD≤20mg/L、氨氮≤5mg/L、SS≤20mg/L、色度≤50稀釋倍數、氟化物≤10mg/L）。

工藝流程圖

工藝說明

各生產車間外排廢水（酸水和堿水分流）由管網經格柵排渣后進入初沉池，靜沉去除大部分浮渣與大顆粒污染物后進入調節池，調節pH后提升至氣能絮凝池，投加絮凝劑進一步去除水中懸浮物，出水進入除氟裝置，通過投加專用活性吸附劑去除水中高濃度的氟化物。接著進入EGSB反應器進行生化處理，利用兼性及專性厭氧菌降解污水中COD，并將大分子有機物分解為小分子化合物以改善其可生化性，出水進入接觸氧化池，通過負載于填料上生物膜的作用，進一步去除水中COD等有機污染物，經由中間水池進行固液分離后上清液水質達標外排，或進入生物濾塔深度處理后回用。
氣能絮凝池的浮渣、初沉池、EGSB反應器及中間水池的污泥進入污泥池，濃縮并經壓濾機脫水后外運。